国内最大CVD金刚石单体工厂日前正式投产
“天璇功能性金刚石超级工厂”在郑州经开综保区B区正式投产······
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金刚石是一种典型的多功能超极限材料，在力学、光学、导热、电学、传声等多方面性质上表现极其优异。采用微波等离子体沉积金刚石是合成金刚石最常用的方法之一，这种微波激发的等离子体干净，不含电极溅射物，因此生长的金刚石中杂质含量较少，可以获得光学甚至电子学方面性能优良的金刚石。······
随着碳基半导体的技术开发深入发展，大尺寸金刚石膜越来越成为阻碍碳基半导体技术的重要因素，国内国外相继生长出了大尺寸的的金刚石多晶膜，铂世光公司在这方面取得长足的进展，应用自己多年积累的技术，不断突破，取得了4英寸的多晶膜片，均匀性10%，已经在多领域开展合作。GaN作为未来碳基半导体主要应用材料，和金刚石基片结合，成为最新热门的技术领域，引领了新一代半导体的技术前沿。······
单晶金刚石具有超宽的禁带宽度、低的介电常数、高的击穿电压、高的热导率、高的本征电子和空穴迁移率,以及优越的抗辐射性能， 使其成为目前已知的最有前景的宽禁带高温半导体材料， 号称“终极半导体”材料。但单晶金刚石在半导体上的大规模应用还有很多技术难题急需解决。本文聚焦大尺寸(英寸级)单晶金刚石衬底的化学气相沉积合成、剥离切片及研磨抛光技术， 通过对近年来的相关文献进行整理，综述了国内外研究现状。在此基础上，对未来单晶金刚石半导体材料的制备、剥离和研磨抛光进行了展望。······
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