W-180A-10K
微波等离子化学气相沉积系统
MPCVD（Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition）

W-380A-10K
微波等离子化学气相沉积系统
MPCVD（Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition）

W-150A/B-6K
微波等离子化学气相沉积系统
MPCVD（Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition）