| 系统特点： |
| ·采用方位换向对称方式微波耦合，来提高微波的均匀性 |
| ·稳定沉积面积20cm2 |
| ·最大功率达到6KW |
| ·使用纯净的石英窗 |
| ·采用不锈钢反应腔，能耐高温 |
| ·高压力控制，产生高密度单模式等离子体 |
| ·使用高精度气体质量流量计，高可靠性稳定的压力控制系统 |
| ·稳定的微波输入 |
| 设备的优势： |
| ·反应可控，能长时间稳定工作在6KW |
| ·所有电子设备中采用微波，没有电极放电，没有金属污染 |
| ·高功率高密度等离子体稳定在离石英窗一定位置，减少硅的析出 |
| ·参照C/H/O比例表，对反应物有更大的选择余地 |
| ·采用高效散热的样品台，最大散热能力可达15KW以上 |
| ·高效率微波利用率，氢等离子体直接作用于样品台加热时效率可达75%以上 |
| ·高可靠性，高实验重复性，高设备耐久性 |
| ·简捷的人机交互界面 |
| 应用： |
| ·宝石 |
| ·复合热沉片 |
| ·精密加工刀具刀头 |
| ·红外光学窗口 |
| ·量子传感器/NV色心量子器件 |
| ·功率电子器件 |
| ·高增益激光器 |
| ·高纯电化学电极 |
| ·纳米金刚石材料 |
| ·第四代半导体材料 |
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