型号

W-180系列

供电电源

AC380±10% 三相五线制 50Hz/60Hz

系统总功率

14KW

微波输出功率

2－10KW

微波工作频率

2.45GHz

反应腔

不锈钢谐振腔

整机真空气密性

≤1.33×10^-10 Pa·m³/s (≤1×10^-9 Torr L/s）

沉积台类型

水冷式沉积台

有效沉积面积

最大沉积面积Ф≥3英吋（76mm）

工作压力范围

1－32Kpa （10Torr－220Torr）

自动压力控制精度

±15 Pa (≈0.12 Torr)

真空泵抽速

旋转真空油泵（30m³/h）

标准气路

五路MFC气路（可选配）

微波泄漏功率密度

≤1mw/cm²

控制系统

PDS-MPCVD控制系统

观察窗

ICF70 4个，ICF34 4个

运行工作环境

恒温20℃-24℃
相对湿度20%~70%（无凝露、无腐蚀性气体）

冷却水流量

＜41 L/min流量可调
进水/回水压差：≥0.42 M Pa

系统重量

500±5KG